一、概況及原理

氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵主要由主動轉子、從動轉子、泵體、冷卻器、電機等組成，由于其特殊的結構設計，使其可以在高壓差和高壓縮比下長期可靠運行。

冷卻氣體從泵體的兩側進入泵的吸氣腔，使泵不會因壓縮氣體而出現過熱，但對泵的抽氣性能沒有任何影響。轉子在泵腔內旋轉120度并完成一次吸、排氣的過程。

冷卻器和電機是每臺泵必備的附件，冷卻器和電機的規(guī)格是根據不同的工況而定。泵可以單獨使用也可以多臺串聯使用，或與液環(huán)真空泵和普通羅茨真空泵串聯成機組，達到更高真空度來滿足各類工藝要求。