一、概況及原理

羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。二個三葉型轉(zhuǎn)子與泵腔保持一定的間隙，通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪，使二個轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時互相不接觸并保持一定間隙。右圖為泵的結(jié)構(gòu)原理科，從圖|到IV為轉(zhuǎn)子在泵腔調(diào)內(nèi)旋轉(zhuǎn)并完成一次吸、排氣的過程。

采用三葉轉(zhuǎn)子羅茨真空泵比傳統(tǒng)二葉8字型轉(zhuǎn)子羅茨真空泵的抽氣效率、至大允許壓差、溫升、振動、噪聲等主要性能指示都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢。

二、主要特點

1、轉(zhuǎn)速高、容積效率高、溫升低、振動小。

2、結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好，操作、維護方便。

3、可采用風(fēng)冷和水冷方式，滿足不同工況要求。

4、轉(zhuǎn)子被鎖緊，無軸向串動現(xiàn)象、故障率更低。

5、所有平面靜密封采用O型圈密封，可以反復(fù)拆裝。

6、與傳統(tǒng)二葉羅茨真空泵比較，抽氣性能優(yōu)勢十分明顯。

7、采用高精度傳動齒輪和精密滾動軸承，噪聲低、運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。

8、主軸采用多彈簧平衡式機械密封，確保泵腔調(diào)無油和泵長期使用無泄漏。

9、端蓋密封可采用機械密封、骨架密封、活塞環(huán)迷宮密封等多種結(jié)構(gòu)型式。

10、可與油封機械泵、往復(fù)泵、液環(huán)泵、無油干式泵等前級泵配套，滿足各類工藝要求。

三、應(yīng)用范圍

羅茨真空泵的優(yōu)點是在較低入口壓力時仍具有較大抽氣速率，但普通羅茨真空泵不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使用。當(dāng)前級真空泵將系統(tǒng)內(nèi)的壓力抽到羅茨真空泵允許啟動壓力后，才可啟動羅茨真空泵。根據(jù)不同的工作壓力和工藝條件，羅茨真空泵的前級真空泵可采用油封式機械真空泵、活塞式真空泵、無油螺桿真空泵等。配置不同類別的前級真空泵后羅茨真空泵各項性能指標(biāo)有所不同。

羅茨真空泵主要應(yīng)用于需要大抽速和粗、中真空(10°_10-2Pa)任何真空系統(tǒng)中，例如：真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝、集中制氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。

四、規(guī)格參數(shù)

1、抽氣速率：指在配用推薦前級泵的條件下，羅茨真空泵的入口壓力在67pa~2.67pa范圍內(nèi)所測得的至大抽氣速率。(見性能曲線)

2、極限壓力：指在配用推薦前級泵的條件下，不帶任何附加容器、泵口密閉不進氣，經(jīng)過充分抽氣后用壓縮式真空計在泵進氣口處測得的穩(wěn)定的空氣分壓力的至低值。

3、上表各性能是在配用推薦前級泵的條件下獲得的，用戶可根據(jù)不同情況，選用不同的前級真空泵，但其主要性能指標(biāo)會有所變化。

五、性能參數(shù)